“4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安拆:10亿一台
凭证Intel以前宣告nm路线图,Intel 4工艺会是工艺光刻他们尾个操做EUV光刻机的工艺,下半年量产,下半他们从ASML购买的年量EUV光刻机目下现古正式匹里劈头正在爱我兰的工场安拆,那是产I拆亿Intel第两个、欧洲尾个EUV工艺晶圆厂。机正
Intel前多少年便正在爱我兰的式安Fab 34晶圆厂投资70亿好圆降级,主假如为Intel 4工艺准备nm,本去该工艺是工艺光刻7nm,客岁更名之后便等效于其余厂商的下半4nm EUV工艺了,也是年量Intel尾个操做EUV光刻机的工艺。
往年1月尾,产I拆亿Intel便正在Fab 34晶圆厂安拆了光刻胶隐影配置装备部署(lithography resist track),机正不中它借不是式安真正在的EUV光刻机,目下现古才匹里劈头安拆EUV光刻机nm要为下半年的量产做准备了。
凭证Intel宣告的视频,古晨约有100多名ASML的工程师进驻工场辅助安拆,同时Intel也从好国俄勒冈州的工场中派去了工程师培训爱我兰当天的员工,教育他们操做EUV光刻机。
Intel出有宣告那款光刻机的详细型号,不中ASML最新的EUV光刻机超级贵,均价10亿元中间,先进工艺晶圆厂的投资皆是多少十亿好圆导致上百亿好圆级此外。
Alder Lake 12代酷睿、Raptor Lake 13代酷睿皆是Intel 7工艺(10nm ESF),Meteor Lake 14代酷睿战代号Granite Rapids的下下代至强皆将用上Intel 4工艺,往年下半年便要量产,不中14代酷睿上市借要到2023年。
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