名目称吸：光掩模ArF光源缺陷模拟仿真配置装备部署
名目编号：0705-244121603126/02
招标规模：光掩ArF光源缺陷模拟仿真配置装备部署
招标机构：上海国内招标有限公司
招标人：广州新钝光掩模科技有限公司
开标时候：2024-05-28 09:30
公示时候：2024-05-28 15:51 - 2024-05-31 23:59
中标下场报告布告时候：2024-06-03 08:58
中标人：卡我蔡司(上海)操持有限公司
制制商：Carl Zeiss SMT GmbH
制制商国家或者天域：德国
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光掩光源